一种制备多晶硅的组合物、制备方法及制备系统
一种制备多晶硅的组合物、制备方法及制备系统 出售中
  • 发明专利
  • 采矿冶金
  • 202010183466
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专利 ·详情

Patent details

专利状态 登记日期 有效期至
已下证(专利维持) 2020-03-16 2040-03-15

专利 ·介绍

Patent introduction

本发明属于多晶硅生产技术领域,公开了一种制备多晶硅原料组合制备方法制备系统制备多晶硅组合由SiCl4(STC)和SiHCl3(TCS)组成,按质量比例STC:TCS=(20%~50%):(80%~50%)。制备多晶硅方法包括:以STC和TCS按质量比例混合为原料,并根据原料混合比例确定Cl/H进料配比,在温度1323‑1473K,压强0.1‑0.6MPa制备条件下,进行多晶硅制备。本发明为降低TCS和STC彻底分离带来高成本问题,进行了温度、压强以进料配比对沉积率影响分析,在原料中TCS所占比例为80%~50%,Cl/H为0.04‑0.1时,产率可达到35%以上。

交易 ·流程

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